Zum Testen und Charakterisieren von Sensoren, die auf MEMS-Technologien basieren, werden von Sensorherstellern und deren Kunden immer hochfrequentere mechanische Erreger benötigt, die sowohl translatorische als auch rotatorische Schwingungen erzeugen können.
Waren vor 10 Jahren noch Frequenzen zwischen 20 kHz und 50 kHz ausreichend, gehen die Anforderungen für die nahe Zukunft in den Megahertz-Bereich. Um diesen Anforderungen gerecht zu werden, hat SPEKTRA einen neuartigen piezoelektrischen Schwingungserreger entwickelt, der eine kontrollierte Anregung von MEMS-Sensoren bis zu einem Frequenzbereich von 2 MHz mit translatorischer und erstmals auch rotatorischer Anregung ermöglicht.
Die Anregungsformen konnten mit Hilfe der 3D-Scanningvibrometrie vermessen werden und es wurde ein Ansatz für ein softwaregesteuertes Schwingregelsystem gefunden, das die Schwingungsformen und -amplituden bei den sehr hohen Frequenzen gezielt einregeln kann. Mit diesem Schwingungserreger wird ein innovativer neuer Ansatz für eine gezielte und gut kontrollierbare Anregung von Schwingungen angeboten, der mechanische Tests mikro-elektrisch-mechanischer Sensoren in eine neue Dimension hebt.
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